]*>","")" /> 反应磁控溅射法制备的氮掺杂TiO2光催化膜的氮化学态和光催化活性
催化学报

催化学报 ›› 2004, Vol. 25 ›› Issue (7): 515-517.

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反应磁控溅射法制备的氮掺杂TiO2光催化膜的氮化学态和光催化活性

陈崧哲1,张彭义1,祝万鹏1,庄大明2   

  1. 1 清华大学环境科学与工程系, 北京 100084; 2 清华大学机械工程系, 北京 100084
  • 收稿日期:2004-07-25 出版日期:2004-07-25 发布日期:1988-03-30

  • Received:2004-07-25 Online:2004-07-25 Published:1988-03-30

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摘要： 采用中频交流磁控溅射法,以O2/N2混和气为反应气体,在铝片上沉积了氮掺杂TiO2膜. 利用原子力显微镜、紫外-可见光谱、X射线衍射和X射线光电子能谱等手段研究了掺杂膜的表面形貌、光吸收性能、物相组成以及膜样品中氮的化学态,并通过苯甲酰胺的光催化降解实验对光催化剂活性进行了评价. 结果表明,所得掺杂膜仅能够被紫外光所激发,反应气的配比对膜的形貌和TiO2的锐钛矿/金红石相比率均有影响,而氮在膜中以掺杂N3-、表面吸附N2和固溶N2的形式存在. 随着N3-掺入量的增加,掺杂膜的光催化活性显著提高,在反应气体组成为N2/(O2+N2)=80%(体积分数)时,掺杂N3-量为0.594%,苯甲酰胺光催化降解效果最好,其活性约为纯TiO2膜的1.5倍.

关键词: 二氧化钛, 膜, 氮, 掺杂, 光催化, 反应磁控溅射, 苯甲酰胺